一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性： 1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量 2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，了传感器的高精度计量 3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高 4）传感器的点稳定度高 5）全量程高稳定性 6）全量程高度和优良的重复性 7）功耗 8）压损 9）响应时间快 二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用： 适用于小流量气体质量的流量测量。
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