等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，随着电极两端电压的升高，电极之间的绝缘体（空气、玻璃、其他绝缘体）游离出电子和离子，当电压升高到值（N）的时候，达到电子和离子运动极限值，达到这一极限值叫等离子体。 根据试验测得等离子体的能级15eV，有机污染物分子的能级小于11eV，所以等离子体有能力裂解污染物分子。另一方面空气中的H2O、O2分子在等离子体的作用下，产生大量的活性离子（O3*、O+、H2O2、H2O2+、OH-），活性离子的氧化功能提升等离子体废气净化能力。因此等离子体是一种效率非常高的废气处理技术。 在成为等离子体过程种会产生大量的电子云团，电子云团中电子高速运动形成微小电流，高速运动中的电子呈现高温状态，但空气中的重粒子空气分子的温度很，所以整个体系仍呈现为温状态，所以称之为温等离子体。 温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、活性自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。 温等离子放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
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