离子氧废气净化设备利用高频高压静电的特殊脉冲放电方式，产生高密度的高能活性氧。迅速与污染物分子碰撞，激活有机分子，并直接将其破坏。
离子氧去除污染物的主要途径有两条：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。
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