真空炉是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。网址：http://www.sdpaijin.com

真空炉的性能参数

1、真空度

一般认为，对冷作模具材料，合金钢、合金工具钢等淬火加热，真空度可以选择1.33～13.3Pa，高合金钢的真空淬火可以选择1.33×10-3Pa。一般情况下，真空达到程度后，要充入量的氮气(分压处理)，降真空度，防止材料中合金元素的挥发和粘接。

2、冷却形式

真空炉的冷却有油冷和气冷。目前主要以气冷为主，因为气冷对冷作模具无任何污染和不良影响(油冷在表面微渗碳问题，影响模具寿命)，处理后模具表面洁净，不需要清洗，所以冷镦用冷作模具一般以气冷淬火作为。

在同样的气压和流量条件比较下，冷却水流量大者冷却速度明显加快。

3、加热元件形式

真空炉加热元件的形式和材料有的不同，一般以板式和棒式为多，材料为高质量石墨。近年来，CFC(碳碳复合材料)表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。在同样功率的工况下，CFC材料厚度薄，相对蓄热小，有利于提高冷却速度。

4、功能

购置真空炉要考虑工艺的通用性，即淬火＋回火使用温度要宽泛一些，特别是处理高合金钢，回火温度550℃以上，尤其淬火后不出炉直接进行回火十分方便。

5、控制系统

控制系统是真空加热炉的核心部分，确保其可靠性和完善性及其重要。有监控和故障显示、记录功能；对于进口设备需要配备远程监控功能，这样可以故障处理的及时性，减少的维修费用。