GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》

 GB51209-2016《发光二极管工厂设计规范》

6.1.2 发光二极管工厂一般由生产厂房、动力厂房、化学品库、气站、办公楼等建筑组成。

9 采暖、通风、空气净化

9.1 一般规定

9.1.1 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室型式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。

9.1.2 洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定。

9.2.5 排风系统的设计应符合下列要求：

1 金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地处理装置；

2 酸、碱排风应独立设置系统，风机应设置应急电源；

3 工艺设备的排风系统应设置备用风机；

4 有冷凝液产生的酸、碱排风系统风管宜设置坡度和排液口，且风管系统应采取防液体渗漏措施；

5 金属有机化合物化学气相沉积设备的排风系统应采取防火、防爆措施；

6 酸、碱排风系统不宜设置防火阀，且不得设置熔片式防火阀；

7 酸、碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧；

8 工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件设置防结露保温措施；

9 洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。

9.3 空气调节与净化

9.3.1 净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处理，新风处理机组的设置应符合下列要求：

1 送风机应采取变频措施；

2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；

3 新风的吸入口位置，应远离排放有害物或可燃物的排气口；25

4 应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%。

9.3.2 光刻间宜采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管的净化空调系统；其他洁净室宜采用新风处理机组+循环空气处理机组+高效过滤器送风口的净化空调系统。

9.3.3 循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。

9.3.4 循环空气处理机组的风机应采取变频调速措施。

9.3.5 空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用。

●N9级～N5级微电子无尘车间、光电净化车间设计施工；

●Ⅰ～Ⅳ级SC食品工业洁净用房设计、建造；

●Ⅰ～Ⅳ级医院洁净手术部、ICU、、供应室设计、安装及维护保养；

●A～D级GMP医药工业洁净厂房设计、建造及维护保养；

●30万级～100级医疗器械净化车间、消毒用品车间设计施工；

●生物安全、动物实验室及其他行业通风净化系统设计、建造及维护保养；

江西全立森洁净技术有限公司

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