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真空镀膜机常见故障及维修方法
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵工作正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到工作真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。更多详细咨询爱加真空
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