天津乙源铜材有限公司

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天津乙源铜材有限公司的专利信息
序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN101025578A 除去光致抗蚀剂和后蚀刻残留物的气体混合物及其应用 2007.08.29 在剥离电介质后蚀刻残留物期间,在氧气剥离等离子体中产生的原子氧与低-k介电材料反应并损坏低-k介电材
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