主要技术规范

1、真空室内腔尺寸：宽×高×深：1950×1050×750（mm）

2、极限真空：1.3×10^-4Pa(空载时)

3、抽气时间：从大气到9.7×10^-4Pa≤50min

4、升压率：≤5Pa/h。

5、真空测量：双热偶电离复合真空计1台，热偶规2支，大气压-1Pa；

电离规2支，10Pa-10^-5Pa。

6、可镀卷材：最大幅宽：150mm，最大卷径：φ=400mm

7、卷绕速度：0.1-10mm/min

8、加热器：

加热器高功率：IGBT电源，35KW（可根据用户要求配置）

数量：2个

加热区域：控温精度1℃，温度均匀性3℃

9、气氛控制：3台D07—7B/ZM型气体质量流量计，

10、真空系统：由脂润滑分子泵，前级机械泵，罗茨泵，电磁气动真

空阀门，真空管道组成。

11、冷却水：循环冷却水机。

去离子水电导率：小于50μ S /cm

压力:0.1～0.25MPa,  流量：约10T/h，水温＜25℃

16、总功率：三相四线，380V，50HZ，80KV。

17、电气控制系统一套，主要元器件均为施耐德品牌。

18、总控系统：PLC控制，互锁设定，触摸屏显示（可根据要求定制）。