| 序号 | 公布号 | 发明名称 | 公布日期 | 摘要 |
| 1 | TW201523761 | 在蒸镀期间避免金喷溅及光阻交联之电子辐射监视系统及相关方法;ELECTRON RADIATION MONITORING SYSTEM TO PREVENT GOLD SPITTING AND RESIST CROSS-LINKING DURING EVAPORATION AND RELATED METHOD | 2015.06.16 | 提供用于电子束金属蒸镀/沈积系统中所利用之金属块上之杂质的原位量测及用于增加利用电子束金属蒸镀/沈积 |
