东莞市科圆防静电设备有限公司

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东莞市科圆防静电设备有限公司的专利信息
序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN103094202A 半导体器件及其钨塞填充方法 2013.05.08 本发明实施例公开了一种钨塞填充方法,包括:提供基底,基底包括需填充金属钨的若干孔洞;在孔洞内形成钨种
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