自动匀胶机，采用进口旋转马达，通过定位系统，辅以皮带传送，实现光刻胶的自动涂覆，前烘。旋转速度达6000rpm，无故障加工片数多达10000片以上。自动匀胶具有加工速度快，涂覆均匀性好，节省光刻胶等特点。设备具有操作简单，维护量小等特点。
适用范围广：适用3-6寸芯片
烘烤温度控制：≤1℃（50-150℃），≤2℃（150-200℃）
旋转速度控制：转速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节，转速
度≤1-4%
涂布均匀性好：片内≤130A，片间≤150A
设备可靠性高：MWBF（平均故障间隔）≥10000片
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