光源产生稳定的160-400nm的输出光谱。其峰-峰稳定性小于0.005%，漂移仅为+/-0.5%每小时。

主要特点：

深紫外覆盖。覆盖范围是160－400nm。

性能。峰-峰稳定性小于0.005%的稳定光源输出。

主要应用：

半导体检测、薄膜厚度测量、静电去除器、光谱学、环境计量、

光学元件检测、材料抗紫外性测试和激发光源等。

技术参数：

功率:

830 mA @ 230 VDC

波长范围:

190-400 nm (深紫外灯)

峰－峰稳定性:

<0.005% at 230 nm

漂移:

+/-0.5% per hour at 230 nm

40分钟

电压和电流:

Ignition 350V/20 Aoperating 85 V/0.3A

灯泡寿命:

1,000小时

工作温度:

5℃-35℃

湿度:

5-95%无冷凝40℃

辐射特性:

0.5mm缝，数字狭缝26度（13度）