一、离线式组件EL缺陷检测仪描述

   用于晶体硅的缺陷检测，可与客户的产线配套，实现自动上下料，自动测试，可人工对缺陷进行标记，保存在本地或远端数据库中，PC控制软件可通过以太网接口实现与客户系统对接，传输测试结果和报警信息，并可依据客户需求定制功能。

二、离线式组件EL缺陷检测仪组成部件简介                                       

1、成像系统

成像系统采用采用进口的SONY EXview HAD CCD，有140万、600万可供用户选择，并支持双相机模式。

的成像质量，SONY EXview HAD CCD，成像质量优良，并带有半导体制冷，可达-20°C，排除热噪声的影响，使图像质量进一步提升，一体化设计，接口简单，便于维护，CCD相机采用一体化设计，USB接口供电和数据传输，维护简单。

2、运动控制单元

运动控制单元负责整个EL全自动测试仪的流程控制和单个功能模块的手动功能调试。

运动控制单元采集传感器的状态来控制设备的工作流程，同时通过传感器获知各个单元的工作状态，当某个工作单元出现故障时，运动控制单元能够立刻停止当前的操作并保持状态，并通过串口与PC机交互发送和接收命令和上传报警信息。

3、计算机控制系统

（1）计算机配置工业控制电脑，稳定性好，中文WindowsXP操作系统。

（2）专用缺陷检测（EL）图像采集处理软件采用操作界面，简单明了，

中/英文操作环境，支持手动标记缺陷位置，不同的缺陷具有不同的标记符

号，方便识别，标记结果可与图片一同保存。

（3）数据库管理测试结果，便于检索和查找，并可与数据库接口，上传

测试结果。

（4）提供以太网接口，可同客户生产管理系统接口，上传测试图片、设备工

作状态和报警信息。

三、离线式组件EL缺陷检测仪技术参数