产品及解决方案 SCS-1050/70太阳能集热管 全自动磁控溅射镀膜机 1、产品用途及使用范围： 本设备是一种高真空磁控溅射镀膜机，主要用于真空太阳能集热管生产中镀制渐变的化学配比的太阳能选择性吸收膜。 该设备采用的触摸屏和PLC自动控制技术，用户可以通过人机对话，很方便的编制各种生产工艺，达到高精度的化学配比镀膜，还可以通过变换靶材，变换基片(工件)夹具，在各种基片表面制备各种纯金属膜、合金膜，以及多种金属的化合物膜。本设备具有十分广泛的使用范围。 2、主要技术性能规范： 2.1. 镀膜室结构尺寸：立式圆柱形前开门结构 内腔尺寸：Φ1050×2400mm 2.2. 真空系统： 主 泵：K-650油扩散泵 1台 9KW 前级泵：2X-70旋片式机械泵 3台 5.5KW×3=16.5KW 维持泵：2X-15旋片式机械泵 1台 1.5KW 阀 门：电磁气动型 2.3. 极限真空：1.3×10-3Pa 2.4. 抽气时间：从大气压到6.7×10-3Pa≤15min 2.5. 工件架：行星式公、自转，直流电机无级调速。 公转速度：0.3～1.5r/min 自转速度：5～23r/min 可镀工件尺寸：Φ47(内管) 70支 2.6. 靶：磁场旋转圆柱靶：不锈钢靶1支、铜靶1支、铝靶1支 2.7. 冷却水：压力：1.8～2×105Pa；温度≤20～25℃；流量：2t/h(需方自备) 2.8. 压缩空气：工作压强：(4～7)×105Pa，要求：过滤，除水，除油 (需方自备) 2.9. 溅射电源：DC –700V/4 2套，30KW×2 2.10. 装机功率：81.5KW，工作电压：AC380V 电源频率：50HZ
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