苏州恒迈瑞材料科技有限公司生产销售2英寸及4英寸蓝宝石氮化镓衬底片,衬底结构GaN-On-Sapphire。GaN氮化镓外延厚度有4.5um和20um两种。2英寸蓝宝石衬底厚度为430um,4英寸蓝宝石衬底厚度为650um。掺杂类型分为N型非掺杂,N型硅掺杂及镁掺杂。蓝宝石氮化镓晶圆片包装方式为单个晶圆盒或Cassette盒。
蓝宝石氮化镓衬底尺寸:2 inch 50.8mm±1mm
蓝宝石衬底厚度:430um
衬底结构:GaN-On-Sapphire
掺杂类型:N型非掺杂/N型硅掺杂/P型镁掺杂
氮化镓外延厚度:4.5um±0.5um/ 20um±2um
晶向:C-plane(0001)A Axis 0.2±0.1°
位错密度:≤5x108cm-2
包装方式:晶圆盒或Cassette盒
抛光要求:单抛/双抛
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